Giảm thấp điện áp dẫn của bộ vi kích hoạt điện nhiệt dạng dầm chữ V bằng phương pháp phún xạ bề mặt

Các bộ vi kích hoạt đóng vai trò quan trọng trong việc dẫn động các thiết bị vi cơ điện tử (MEMS– Micro-electro-mechanical System). Bài viết giới thiệu phương pháp giảm điện trở bề mặt của bộ vi kích hoạt điện nhiệt dạng chữ V, từ đó, giảm điện áp dẫn, nâng cao chuyển vị, tỷ trọng công suất của bộ vi kích hoạt.

Từ khóa: Bộ kích hoạt hình chữ V, Hiệu ứng giãn nở nhiệt, Phún xạ bề mặt, Công nghệ vi cơ khối, Phương pháp giảm điện trở bề mặt